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MDX 系列
等离子发生器直流电源系统
产品特点
低储能输出,灭弧时间可调
低纹波
紧凑型设计
电压、电流和功率调节模式
前面板和模拟接口控制
产品描述
作为一款重载工业设备,MDX 系列主要用于需要实现可靠、精密电源输出的低功率应用。
精密的调节、卓越的灭弧性能和低储能输出,使 MDX 系列直流电源成为行业领先者。这些可靠耐用的电源适用于在真空环境中持续高强度的,普遍用作直流磁控溅射驱动。它们还提供精密调节,作为 RF 溅射和蚀刻系统的偏压电源。该系列电源采用紧凑型设计,是实验室系统的首选
产品应用
Deposition
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