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Pinnacle Plus+
脉冲直流电源系统
产品特点
频率可在 5 至 350 kHz 范围内调节 
可变占空比最高可达 45% 
宽电压范围 - 单输出宽阻抗范围 
出色的电弧控制  
可选双输出,用于多真空腔生产
产品描述
Advanced Energy Pinnacle® Plus+ 电源采用易于集成的封装,为反应工艺提供脉冲直流解决方案的各种优势,可提高过程效率、降低成本,同时具有出色的灵活性和自由度。与复杂昂贵的交流电源解决方案相比,Pinnacle Plus+ 电源结合了标准直流技术和我们获得专利的脉冲直流技术,可提供更高的沉积率、更高的可重复性能和出色的薄膜质量。
产品应用
沉积
平板显示器
玻璃镀膜
工业镀膜
半导体制造
太阳能光伏
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