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Cesar
射频等离子体发生器
产品特点
紧凑的流线型设计和标准平台封装，易于更换
高效率 — 产生的热量更少
RS-232、以太网和 Profibus 通信
有效的前面板配置，便捷的综合操作菜单
CEX（相位同步）操作模式
产品描述
成熟可靠的 Cesar® 平台可提供稳定的射频功率，能够承受等离子体工艺中最苛刻的工艺条件。该平台可熟练地处理高负载失配情况，在额定反射功率下仍能保持完全正常工作。Cesar 射频发生器具有高度直观的操作菜单，可从大尺寸前面板 LCD 上操作，能提高效率并最大限度地降低培训成本。
Cesar 射频发生器提供多种可选型号（2、4、13.56、27.12 和 40.68 MHz；0.3 kW 至 5 kW），采用优质部件制造，实现最大可靠性和生产率。
产品应用
蚀刻
沉积
半导体制造
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